【独家|鑫巨半导体获东方富海天使轮投资 已完成5微米线宽/线距工艺研发】《科创板日报》14日讯，近日东方富海（中小企业发展基金）独家完成鑫巨半导体的数千万天使轮融资。鑫巨半导体主营IC基板设备，公司已完成5微米线宽/线距工艺开发和内部测试，相关技术成果正在转化成量产设备。其中，干膜显影设备线(DDV)、闪蚀设备线(FET)、干膜剥离设备线(DFS)等是其优势产品。（《科创板日报》记者 陈美）

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